硅烷的危險(xiǎn)特性及安全操作

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,廣泛應(yīng)用于微電子、光電器件以及高純度多晶硅生產(chǎn),潛在應(yīng)用前景更為廣闊.隨著硅烷應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,硅烷安全使用和處理已成為首要的問題.通過對(duì)硅烷著火的研究和事故分析表明,硅烷的危險(xiǎn)特性在于它與氧反應(yīng)的極強(qiáng)活性:自燃,著火下限低,燃燒能量大.由于硅烷的自燃特性,對(duì)它的安全防范,與一般的易燃易爆物質(zhì)相比,除一些共同點(diǎn)之外,還有顯著的不同之處.在操作中必須預(yù)防高濃度硅烷與氧接觸發(fā)生自燃著火.同時(shí)還必須防止硅烷泄漏在有限的空間內(nèi)與氧混合,形成不穩(wěn)定爆炸性氣團(tuán).筆者綜合分析和研討了硅烷著火和爆炸的最新進(jìn)展和成果,在實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和分析典型硅烷事故的基礎(chǔ)上,提出了處理和使用硅烷的安全操作要點(diǎn).

作 者： 沃銀花 王勇 姚奎鴻 WO Yin-hua WANG Yong YAO Kui-hong   作者單位： 沃銀花,WO Yin-hua(浙江大學(xué)材料與化工學(xué)院)

王勇,姚奎鴻,WANG Yong,YAO Kui-hong(浙江理工大學(xué)材料工程中心) 

刊 名： 中國(guó)安全科學(xué)學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINA SAFETY SCIENCE JOURNAL  年，卷(期)： 2004 14(12)  分類號(hào)： X9  關(guān)鍵詞： 硅烷   著火特性   自燃   爆炸   安全操作  

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