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行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的數(shù)值模擬
摘要:針對(duì)三重進(jìn)口行星式CVD反應(yīng)器的輸運(yùn)過程進(jìn)行了二維數(shù)值模擬研究.通過改變反應(yīng)腔幾何尺寸、導(dǎo)流管位置、三重進(jìn)口流量組合、壓強(qiáng)、溫度等條件,研究反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的相應(yīng)變化.根據(jù)模擬結(jié)果,對(duì)這類反應(yīng)器中輸運(yùn)現(xiàn)象與外部參數(shù)的關(guān)系,特別是反應(yīng)腔內(nèi)對(duì)流渦旋的產(chǎn)生和發(fā)展作了較全面的分析和討論,給出了抑制對(duì)流渦旋、獲得薄膜生長(zhǎng)所需的最佳輸運(yùn)過程的條件. 作者: 左然[1] 張紅[1] 劉祥林[2] Author: ZUO Ran[1] ZHANG Hong[1] LIU Xiang-lin[2] 作者單位: 江蘇大學(xué)能源與動(dòng)力工程學(xué)院,江蘇,鎮(zhèn)江,212013中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,北京,100080 期 刊: 工程熱物理學(xué)報(bào) ISTICEIPKU Journal: JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年,卷(期): 2005, 26(4) 分類號(hào): H8115 Q4725 關(guān)鍵詞: 化學(xué)氣相沉積 輸運(yùn)過程 熱對(duì)流 數(shù)值模擬 機(jī)標(biāo)分類號(hào): TQ3 TN3 機(jī)標(biāo)關(guān)鍵詞: 行星式 化學(xué)氣相沉積 反應(yīng)器 對(duì)流渦旋 輸運(yùn)過程 反應(yīng)腔 外部參數(shù) 模擬研究 模擬結(jié)果 流量組合 進(jìn)口 幾何尺寸 二維數(shù)值 薄膜生長(zhǎng) 相應(yīng)變 導(dǎo)流管 壓強(qiáng) 溫度 位置 基金項(xiàng)目: 國(guó)家自然科學(xué)基金,國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃),江蘇大學(xué)校科研和教改項(xiàng)目 行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的數(shù)值模擬[期刊論文] 工程熱物理學(xué)報(bào) --2005, 26(4)左然 張紅 劉祥林針對(duì)三重進(jìn)口行星式CVD反應(yīng)器的輸運(yùn)過程進(jìn)行了二維數(shù)值模擬研究.通過改變反應(yīng)腔幾何尺寸、導(dǎo)流管位置、三重進(jìn)口流量組合、壓強(qiáng)、溫度等條件,研究反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的相應(yīng)變化.根據(jù)模擬結(jié)果,對(duì)這類反應(yīng)器中輸運(yùn)現(xiàn)象與外部參...【行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的數(shù)值模擬】相關(guān)文章:
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