基于微機電系統(tǒng)CAD研究分析

微機電系統(tǒng)(MEMS)的計算機輔助設(shè)計(CAD)是MEMS實現(xiàn)商品化的重要基礎(chǔ),CAD技術(shù)在MEMS研究過程中具有非常重要的作用.本文概述了微機電系統(tǒng)CAD的研究進展,并介紹了國外在該領(lǐng)域的研究工作.重點研究了微機電系統(tǒng)中的耦合場分析和宏模型與系統(tǒng)級模擬等關(guān)鍵技術(shù)問題,針對其與傳統(tǒng)機電系統(tǒng)的不同,總結(jié)了微機電系統(tǒng)CAD的特點,并據(jù)此提出了微機電系統(tǒng)的設(shè)計原則.以便能提高微型機電系統(tǒng)的設(shè)計質(zhì)量,縮短研制周期,使之及早走向工業(yè)化.

作 者： 陳蓉暉   作者單位： 湘潭職業(yè)技術(shù)學院,機電系,湖南,湘潭,411102  刊 名： 咸寧學院學報  英文刊名： JOURNAL OF XIANNING COLLEGE  年，卷(期)： 2009 29(3)  分類號： P393  關(guān)鍵詞： 微機電系統(tǒng)(MEMS)   計算機輔助設(shè)計(CAD)   設(shè)計原則  

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