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用光譜法測(cè)試相位光柵層的厚度
按傅里葉光學(xué),當(dāng)平面波通過光柵時(shí),不同級(jí)次的衍射角和強(qiáng)度由光柵而定,根據(jù)光柵的衍射頻譜可以反推出光柵本身的多種信息.一個(gè)新的方法就是選用不同級(jí)次的功率譜來測(cè)量相位光柵的深度.對(duì)3塊光柵進(jìn)行了測(cè)試,并給出計(jì)算的光柵深度.同時(shí)給出6塊光柵的測(cè)試結(jié)果--多級(jí)衍射強(qiáng)度,結(jié)果表明誤差值不大于5%.
作 者: 曹向群 連華 李何立 作者單位: 浙江大學(xué)國家光學(xué)儀器工程技術(shù)研究中心,杭州,3l0027 刊 名: 中國激光 ISTIC EI PKU 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF LASERS 年,卷(期): 2004 31(z1) 分類號(hào): O438.2 關(guān)鍵詞: 相位光柵 測(cè)試 衍射譜【用光譜法測(cè)試相位光柵層的厚度】相關(guān)文章:
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