二氧化硅納米薄膜非平衡熱導率研究

二氧化硅納米絕緣薄膜的傳熱是靠聲子在薄膜的振動實現(xiàn)的.聲子在納米薄膜結構中傳輸?shù)姆瞧胶庑杂绊懥吮∧さ臒釋��?3ω實驗方法是一種可以對薄膜熱導率進行瞬時測量的方法,本文采用3ω方法分別測量低頻率段和高頻段的二氧化硅薄膜溫升及二氧化硅薄膜的熱導率,對二氧化硅薄膜的非平衡熱導率進行了分析.

作 者： 馬連湘 王向?qū)?段占立 王澤鵬 何燕 WANG Xiang-ning MA Lian-xiang DUAN Zhan-li WANG Ze-peng HE Yan   作者單位： 青島科技大學,山東,青島,266500  刊 名： 低溫物理學報  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS  年，卷(期)： 2008 30(3)  分類號： O51  關鍵詞： 納米薄膜   熱導率   非平衡  

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