基于衰減全反射結(jié)構(gòu)的微小位移的實(shí)時(shí)測量

利用衰減全反射結(jié)構(gòu)制作出一種新型實(shí)時(shí)測量微小位移的傳感器.方法是用帶有一定入射角寬度的光束代替?zhèn)鹘y(tǒng)的角度掃描,在計(jì)算機(jī)屏幕上同時(shí)顯示標(biāo)志波導(dǎo)模式的一組暗線.當(dāng)外界工作條件發(fā)生變化,暗線就會隨之移動,利用屏幕上暗線的移動來測量微小位移.研究表明,該器件測量實(shí)時(shí)性強(qiáng)、精確度較高、設(shè)備簡單、成本低、易于調(diào)節(jié)等諸優(yōu)點(diǎn),預(yù)計(jì)在微加工等領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用價(jià)值.

作 者： 歐陽坤 況慶強(qiáng) 肖平平 樂建新 OUYANG Kun KUANG Qing-qiang XIAO Ping-ping LE Jian-xin   作者單位： 歐陽坤,況慶強(qiáng),樂建新,OUYANG Kun,KUANG Qing-qiang,LE Jian-xin(江西師范大學(xué)物理與通信電子學(xué)院,江西南昌,330027)

肖平平,XIAO Ping-ping(宜春學(xué)院物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院,江西宜春,336000) 

刊 名： 江西師范大學(xué)學(xué)報(bào)（自然科學(xué)版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF JIANGXI NORMAL UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES EDITION）  年，卷(期)： 2008 32(3)  分類號： O432.2  關(guān)鍵詞： 衰減全反射   微小位移   傳感器  

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