Al摻雜ZnO薄膜原子力顯微圖像的多重分形研究

用原子力顯微鏡觀察溶膠-凝膠法制備Al摻雜znO薄膜的表面形貌,運(yùn)用多重分形理論研究Al摻雜ZnO薄膜的原子力顯微圖像,多重分形譜可以很好地定量表征薄膜的表面形貌.結(jié)果顯示:Al摻雜量為0.5 at.%的ZnO薄膜經(jīng)550℃退火處理后,rms粗糙度為1.817,Al摻雜量為1.0 at.%的ZnO薄膜經(jīng)600℃退火處理后,rms粗糙度增大到4.625,相應(yīng)的分形譜寬△α從0.019增大到0.287,分形參數(shù)△f由-0.075變?yōu)?.124.

作 者： 呂建國 宋學(xué)萍 孫兆奇 L(U) Jian-guo SONG Xue-ping SUN Zhao-qi   作者單位： 呂建國,L(U) Jian-guo(安徽大學(xué)物理與材料科學(xué)學(xué)院,安徽合肥230039;合肥師范學(xué)院物理與電子工程系,安徽,合肥,230061)

宋學(xué)萍,孫兆奇,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi(安徽大學(xué)物理與材料科學(xué)學(xué)院,安徽合肥,230039) 

刊 名： 電子顯微學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY  年，卷(期)： 2008 27(3)  分類號(hào)： O766 O484 TG115.21+5.7  關(guān)鍵詞： Al摻雜ZnO薄膜   原子力顯微圖像   表面形貌   多重分形譜  

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