熱陰極輝光放電對金剛石膜沉積的影響

研究了在熱陰極輝光放電等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石膜過程中,熱陰極輝光放電特性與金剛石膜沉積工藝的關(guān)系.結(jié)果表明,適當(dāng)?shù)年帢O溫度是保證大電流、高氣壓輝光放電的必要條件.陰極的溫度影響輝光放電陰極位降區(qū)的放電性質(zhì).金剛石膜的沉積速率隨著氣體壓力(16～20 kPa)的升高而上升,在18.6 kPa左右出現(xiàn)最高值,而陽極位降區(qū)電場強(qiáng)度的降低使膜品質(zhì)下降.放電電流(8～12 A)對沉積速率的影響與氣體壓力的影響具有相似的規(guī)律.

作 者： 白亦真 金曾孫 姜志剛 韓雪梅   作者單位： 吉林大學(xué)超硬材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室  刊 名： 材料研究學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH  年，卷(期)： 2003 17(5)  分類號： O613 TB383  關(guān)鍵詞： 無機(jī)非金屬材料   熱陰極   等離子體化學(xué)氣相沉積   輝光放電   金剛石膜  

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