用IR及XPS研究Photo-CVD SiO2薄膜特性

在低溫下采用以低壓Xe氣激發(fā)真空紫外光作光源,以SiH4和O2作為反應(yīng)氣體的直接光CVD技術(shù)在硅襯底上成功地淀積出SiO2薄膜.用紅外光譜分析發(fā)現(xiàn),薄膜中未出現(xiàn)與Si-H、Si-OH相應(yīng)的紅外吸收峰,Si-O伸縮振動所對應(yīng)的吸收峰峰位在1 054～1 069 cm-1之間;通過高頻C-V特性曲線計算出SiO2-Si系統(tǒng)中固定氧化物電荷密度在2×1010～3×10 11cm-2范圍內(nèi);XPS分析表明,SiO2薄膜中Si的2p能級結(jié)合能為103.6 eV,界面處亞氧化硅的總含量為每平方厘米3.72×1015個原子.

作 者： 劉玉榮 李觀啟 黃美淺   作者單位： 華南理工大學應(yīng)用物理系,廣東,廣州,510640  刊 名： 華南理工大學學報(自然科學版)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)  年，卷(期)： 2003 31(7)  分類號： O484.4  關(guān)鍵詞： 光CVD   SiO2薄膜   紅外光譜   XPS   C-V特性  

【用IR及XPS研究Photo-CVD SiO2薄膜特性】相關(guān)文章：

不同氧分壓下ZrO2薄膜特性研究04-26

N 摻雜ZnO薄膜的接觸特性04-26

納米硅鑲嵌復合薄膜退火前后的微結(jié)構(gòu)及發(fā)光特性研究04-26

β-FeSi2薄膜的結(jié)構(gòu)與光電特性04-26

SiO2微粉特性及加密技術(shù)04-27

一種自組裝薄膜的納秒非線性折射特性研究04-26

交流量熱法測量SiO2薄膜的熱擴散率04-27

M85車用燃料的排放特性及催化特性研究04-27

膨脹石墨的形貌結(jié)構(gòu)與表面功能基團的XPS研究04-27

氟摻雜的氧化鋅薄膜的結(jié)構(gòu)和光學特性04-27