柵網(wǎng)與偏壓對CHF3電子回旋共振放電等離子體特性的影響

研究了電子回旋共振等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中柵網(wǎng)的增加和柵網(wǎng)上施加+60V和-60V偏壓對CHF3放電等離子體特性的影響.發(fā)現(xiàn)在低微波功率下柵網(wǎng)與偏壓對等離子體中基團分布的影響較大,而高微波功率下的影響逐漸減小.這是由于低微波功率下等離子體中電子溫度較低,基團的分布同時受柵網(wǎng)鞘電場和電子碰撞分解的共同作用;而高微波功率下電子溫度較高,柵網(wǎng)鞘電場的作用減弱,基團分布主要取決于電子碰撞分解作用.

作 者： 葉超 杜偉 寧兆元 程珊華   作者單位： 蘇州大學(xué)物理系,蘇州,215006  刊 名： 物理學(xué)報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2003 52(7)  分類號： O4  關(guān)鍵詞： 電子回旋共振放電   CHF3分解   柵網(wǎng)   偏壓  

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