射頻等離子體鞘層動(dòng)力學(xué)模型

在流體力學(xué)方程的基礎(chǔ)上建立了一種自洽的無(wú)碰撞射頻等離子體鞘層動(dòng)力學(xué)模型.這種自治性包含兩個(gè)方面:一方面,由于考慮了瞬時(shí)鞘層電場(chǎng)對(duì)離子運(yùn)動(dòng)的影響,因此該模型適用于描述任意頻率段的射頻鞘層演化過(guò)程;另一方面,在模型中采用等效電路方法來(lái)自洽地確定極板上的瞬時(shí)電位與瞬時(shí)鞘層厚度之間的關(guān)系.采用數(shù)值方法模擬出鞘層的瞬時(shí)厚度及極板的瞬時(shí)電位變化、鞘層內(nèi)離子密度和電場(chǎng)強(qiáng)度等物理量的時(shí)空變化.結(jié)果表明,當(dāng)射頻場(chǎng)的頻率小于或等于離子等離子體頻率時(shí),離子流密度明顯地隨時(shí)間變化.

作 者： 戴忠玲 王友年 馬騰才   作者單位： 大連理工大學(xué)物理系,大連,116024  刊 名： 物理學(xué)報(bào)  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2001 50(12)  分類號(hào)： O53  關(guān)鍵詞： 射頻   離子   鞘層   流體力學(xué)  

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