- 相關(guān)推薦
熱絲CVD金剛石薄膜制備及碳納米管形核作用的研究
利用熱絲化學(xué)氣相沉積法(HF-CVD)進(jìn)行了金剛石薄膜制備和碳納米管形核作用的研究.獲得了制備金剛石薄膜的優(yōu)化工藝參數(shù).利用碳納米管作為形核前驅(qū)獲得了高質(zhì)量的金剛石薄膜,其沉積速率可達(dá)2.5 μm/h,晶粒生長完美,而且沒有出現(xiàn)聚晶現(xiàn)象.研究了碳納米管涂料質(zhì)量對薄膜沉積特性的影響,并對其機(jī)理進(jìn)行了初步探討.
作 者: 侯亞奇 莊大明 張弓 吳敏生 劉家浚 作者單位: 清華大學(xué)機(jī)械工程系,北京,100084 刊 名: 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) ISTIC EI PKU 英文刊名: VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年,卷(期): 2002 22(1) 分類號: O484.1 關(guān)鍵詞: 金剛石薄膜 熱絲化學(xué)氣相沉積 碳納米管 形核前驅(qū)【熱絲CVD金剛石薄膜制備及碳納米管形核作用的研究】相關(guān)文章:
AP-CVD法制備的二氧化鈦薄膜結(jié)構(gòu)及親水性研究04-26
類金剛石薄膜的紫外輻照研究04-27
高導(dǎo)電聚苯胺薄膜的制備及其電磁屏蔽性能的研究04-26
脈沖工藝在薄膜制備中的應(yīng)用04-26
納米ZnO薄膜制備及液態(tài)源摻雜04-27
金剛石/銀復(fù)合材料:制備、電泳沉積及場發(fā)射性能研究04-27
感光薄膜與二維Bragg光柵制備04-27
盾殼霉對核盤菌的拮抗作用研究04-27