用微光學(xué)技術(shù)制作位相型聚焦光柵

根據(jù)菲涅耳衍射理論,采用微光學(xué)制作技術(shù)通過3次套刻,將8位相臺階的菲涅耳波帶片和平面光柵組合制作在同一塊基片上,構(gòu)成同時具有色散分光和聚焦光譜線功能的位相型光柵.這種光柵具有較高的光譜分辨本領(lǐng)和衍射效率,而且光路簡單,調(diào)節(jié)方便.實驗測出的衍射效率大于71%.

作 者： 紀(jì)憲明 沐仁旺 韓良愷   作者單位： 南通師范學(xué)院,物理系,江蘇,南通,226007  刊 名： 半導(dǎo)體光電  ISTIC PKU 英文刊名： SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS  年，卷(期)： 2004 25(5)  分類號： O439  關(guān)鍵詞： 微光學(xué)元件   菲涅耳波帶片   聚焦光柵  

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