用于能量傳輸的生物體植入式MEMS電感線圈的設計

為了能得到植入在生物體內,用于體內微型電子系統(tǒng)與體外設備信號和能量傳輸的高品質因數Q值和高電感量L值的MEMS電感線圈,本文首先對MEMS電感模型做了理論分析,然后在充分考慮功率傳輸要求、植入器件體積的限制以及制作工藝的可實現性的情況下,用高精度的3D電磁仿真軟件HFSS,對電感的主要參數如圈數N、線寬W、導線間隙S、導線厚度H、導線材料M和襯底電導率σ作了優(yōu)化設計.最終確定N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M為Cu、σ=0.1s/m.數值仿真的結果顯示Q=17.6,L=55nH,fQMAX=240MHz,fself=1.2GHz,它們能很好地符合能量傳輸的功率要求和信號傳輸的帶寬要求.

作 者： 駱明輝 盧露 郭航 Ming-hui Luo Lu Lu Hang Guo   作者單位： 廈門大學薩本棟微納米技術研究中心,廈門,361005  刊 名： 生命科學儀器  英文刊名： LIFE SCIENCE INSTRUMENTS  年，卷(期)： 2009 7(10)  分類號： Q1  關鍵詞： 集成電感   可植入式微器件   MEMs   能量耦合   SU-8   電鍍  

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