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靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺微位移信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
為實(shí)現(xiàn)對(duì)懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺轉(zhuǎn)子五自由度的測(cè)量,提出了一種頻分復(fù)用的微位移檢測(cè)原理,主要介紹了多頻率信號(hào)發(fā)生器,前置放大器,鎖櫥放大器組成的測(cè)試系統(tǒng),設(shè)計(jì)了一種基于DDS技術(shù)的多頻率信號(hào)發(fā)生器和基于鎖相放大原理的解調(diào)電路.實(shí)驗(yàn)和分析結(jié)果表明,該電路能實(shí)現(xiàn)多自由度微位移檢測(cè),設(shè)計(jì)的多頻率信號(hào)發(fā)生器的頻率分辨率能達(dá)到0.005821Hz,相位分辨率可以達(dá)到0.006rad,檢測(cè)軸向靈敏度為1.34V/μm,檢測(cè)徑向靈敏度為0.092V/μm,測(cè)量電路的軸向位移分辨率為0.45nm,徑向位移分辨率為6.6nm,轉(zhuǎn)角的分辨率為0.25μrad,位移檢測(cè)電路的分辨率,靈敏度和測(cè)量范圍能夠滿(mǎn)足靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的控制需要.
作 者： 肖奇軍 陳文元 崔峰 李勝勇 黃曉剛 邵珰珰 作者單位： 肖奇軍(上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院,上海,2000130;廣東肇慶學(xué)院電子信息工程系,廣東肇慶,526061)陳文元,崔峰,李勝勇,黃曉剛,邵珰珰(上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院,上海,2000130)
刊 名： 機(jī)電工程技術(shù) 英文刊名： MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2009 38(5) 分類(lèi)號(hào)： U666.1 關(guān)鍵詞： 微陀螺 微位移檢測(cè) 信號(hào)發(fā)生器 鎖相放大器【靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺微位移信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)】相關(guān)文章：
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