氧化鋅半導體薄膜在原子氧探測中的應用

氧化鋅半導體薄膜是用于空間原子氧探測的一種敏感材料.采用脈沖激光沉積方法(PLD)在(001)取向的藍寶石基底上制備出了高質(zhì)量的氧化鋅薄膜,并在地面原子氧模擬設備中考察了其原子氧敏感特性.結果表明,氧化鋅薄膜對原子氧有較好的敏感特性,并且在受熱后導電性能可以恢復,滿足重復探測的要求.

作 者： 王云飛 陳學康 王蘭喜 李中華 楊生勝 鄭闊海 馮展祖 高欣 Wang Yunfei Chen Xuekang Wang Lanxi Li Zhonghua Yang Shengsheng Zheng Kuohai Feng Zhanzu Gao Xin   作者單位： 蘭州物理研究所,真空低溫技術與物理國家重點實驗室,蘭州,730000  刊 名： 航天器環(huán)境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 26(2)  分類號： V416.5 TQ132.4+1  關鍵詞： 氧化鋅薄膜   制備   原子氧   探測  

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