硅微技術在導航、制導與控制中的應用及發(fā)展趨勢

主要對近幾年來微機電系統(tǒng)的技術進步和應用情況作了介紹,特別對基于微機電技術的敏感器和執(zhí)行機構在航空和航天領域的導航、制導和控制方面的應用進展作了較為詳細的敘述,最后指出了MEMS技術的發(fā)展趨勢和目前正在突破的關鍵技術.

作 者： 周鳳岐 劉智平 周軍 ZHOU Feng-qi LIU Zhi-ping ZHOU Jun   作者單位： 西北工業(yè)大學,航天學院,陜西,西安,710072  刊 名： 測控技術  ISTIC PKU 英文刊名： MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 26(3)  分類號： V241  關鍵詞： 硅微敏感器   導航、制導與控制   執(zhí)行機構   噪聲模型  

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