磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方式研究

介紹了基于MEMS技術(shù)的磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的旋轉(zhuǎn)原理,進(jìn)行了針對(duì)旋轉(zhuǎn)力矩的仿真;在此基礎(chǔ)上,給出了相應(yīng)實(shí)現(xiàn)方案的指標(biāo)分析和系統(tǒng)設(shè)計(jì).經(jīng)過實(shí)際測(cè)試,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)后,微陀螺可以得到均勻快速的旋轉(zhuǎn)效果,為下一步陀螺效應(yīng)的研究打下了基礎(chǔ).

作 者： 邵詩逸 黃曉剛 劉武 陳文元 SHAO Shi-yi HUANG Xiao-gang LIU Wu CHEN Wen-yuan   作者單位： 上海交通大學(xué),微納科學(xué)技術(shù)研究院,薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,微納米加工國防實(shí)驗(yàn)室,上海,200030  刊 名： 微電子學(xué)  ISTIC PKU 英文刊名： MICROELECTRONICS  年，卷(期)： 2006 36(1)  分類號(hào)： V241.5  關(guān)鍵詞： 磁懸浮轉(zhuǎn)子   微陀螺   文氏橋   移相   正交驅(qū)動(dòng)  

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