超硬多層薄膜的研究現(xiàn)狀及展望

超硬多層薄膜的性能隨調(diào)制周期的變化而發(fā)生變化,在某一范圍出現(xiàn)超模、超硬等異常效應(yīng).由于其潛在的實(shí)際應(yīng)用價值及理論意義,超硬多層薄膜成為近年來人們研究的熱點(diǎn).綜述了近年來國內(nèi)外學(xué)者對超硬多層薄膜的研究結(jié)果,介紹了其超硬多層薄膜類型、主要性能特點(diǎn)以及制備工藝,并對未來的發(fā)展趨勢進(jìn)行了展望.

作 者： 李寧 宋緒丁 LI Ning SONG Xu-ding   作者單位： 長安大學(xué)工程機(jī)械學(xué)院,陜西,西安,710064  刊 名： 材料保護(hù)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF MATERIALS PROTECTION  年，卷(期)： 2005 38(7)  分類號： V261.93  關(guān)鍵詞： 超硬多層薄膜   超晶格薄膜   納米多層膜   類金剛石  

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